氣體進(jìn)入吸氣腔，并立即被轉(zhuǎn)子的葉片壓縮。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，它將氣體分子推向泵室，并朝向排氣，然后被排放到大氣中。

葉片是彈簧加載的，這就是葉片在轉(zhuǎn)子和泵室殼體之間形成氣密密封的方式。相反，這些葉片和轉(zhuǎn)子殼體由專門配制的低蒸氣壓的油密封，該油用作旋片真空泵的密封劑，潤滑劑和冷卻劑。

有幾種驅(qū)動旋片真空泵轉(zhuǎn)子的驅(qū)動器。**個是直接驅(qū)動器，直接驅(qū)動器通過曲軸和聯(lián)軸器連接到旋轉(zhuǎn)動力源（大多數(shù)情況下是電動機）。第二種驅(qū)動類型是皮帶驅(qū)動泵，它通過皮帶輪和皮帶連接到旋轉(zhuǎn)動力源。

直接驅(qū)動式旋片泵通常在大約1750 RPM的溫度和70攝氏度的溫度下運行。使用減速皮帶輪（皮帶驅(qū)動）的泵以較低的RPM運行。皮帶驅(qū)動泵的工作溫度比直接驅(qū)動真空泵低10至20攝氏度。但是，每種泵類型的工作溫度在很大程度上取決于多個因素，例如轉(zhuǎn)速，真空泵油的粘度，油的質(zhì)量，真空泵的使用年限，被抽出的氣體的質(zhì)量。 ，以及真空泵的質(zhì)量和類型。

旋片式真空泵通常有兩種類型：單級或雙級，有時也稱為雙級。通過將第二轉(zhuǎn)子的進(jìn)氣口連接到**轉(zhuǎn)子的排氣口來產(chǎn)生第二階段。兩級旋轉(zhuǎn)葉片泵的優(yōu)點是可以通過這種方式獲得較低的真空度和較高的體積流量。

與任何其他真空泵一樣，體積流量隨著真空系統(tǒng)或腔室內(nèi)部真空度的增加而減小。這是由于這樣的事實，真空室內(nèi)存在的空氣越少，從真空室或系統(tǒng)中去除其他氣體分子的難度就越大。但是，隨著jue對壓力的降低，兩級真空泵的泵性能變得更加明顯。在粗真空范圍內(nèi)，抽速基本上相同，但是當(dāng)jue對壓力超過1托時，兩級真空泵繼續(xù)保持其抽速，而單級真空泵開始下降。

從該圖可以明顯看出為什么單級真空泵優(yōu)于兩級真空泵，反之亦然。在惡劣的真空環(huán)境中，單級真空泵和兩級真空泵之間沒有區(qū)別，這意味著單級真空泵將以降低約30％至50％的成本提供相同的性能。另一方面，單級旋片真空泵的性能在1 Torr之后開始下降，而二級旋片真空泵成為顯而易見的選擇。

下圖顯示了帶有和不帶有氣鎮(zhèn)閥的單級和兩級旋轉(zhuǎn)葉片泵的抽速。