旋片真空泵用于在粗糙真空范圍內(nèi)將空氣(或氣體)從真空室或真空系統(tǒng)中排出。“粗真空”被稱為系統(tǒng),其jue對氣壓在760托(環(huán)境)和大約1托之間。在粗糙真空范圍內(nèi),有許多高真空泵(例如渦輪分子真空泵)無法運行,并且會受到損壞。因此,旋片真空泵被多次稱為粗加工泵。粗加工泵是用于將真空室或系統(tǒng)的jue對壓力從大氣壓降低到0.001托或1微米的泵。此時,輔助真空泵(例如渦輪泵)將打開并接管抽真空,以使真空室或系統(tǒng)達到更高的真空度(例如10-5托)。
**個缺點是存在低蒸氣壓油。旋片真空泵在沒有機油的情況下無法運行,這意味著必須經(jīng)常觀察,補充和更換機油。這也使真空泵有被高蒸氣壓氣體污染的風(fēng)險,這繼而降低了真空泵的性能并損壞了其部件。
減輕污染物進入真空泵腔室的一種方法是在真空泵進氣之前安裝過濾器和疏水閥。這樣可以zui大程度地減少真空泵油的污染。
此外,從其排氣到周圍環(huán)境中的旋片真空泵發(fā)出油和水霧。一段時間后,單個旋片真空泵會在密閉的房間內(nèi)冒煙,危害健康。這使旋片真空泵失去了在潔凈室,封閉環(huán)境或室內(nèi)環(huán)境中使用的資格。
可以通過在真空泵排氣裝置上安裝除油器或排氣過濾器來zui大程度地減少油霧的排放。這個簡單的步驟可以減少99.95%的排放。